從古至今，人們一直在研究利用聲波測(cè)量液體和氣體的流速，直到第二次世界大戰(zhàn)為止沒有多大的進(jìn)展。戰(zhàn)后爆發(fā)的技術(shù)革新首先在美國興起，繼相位差法之后，應(yīng)用聲循環(huán)法的馬克森流量計(jì)在1955年作為航空燃料用流量計(jì)得到應(yīng)用。這引發(fā)了超聲波流量計(jì)、流速技術(shù)的研發(fā)熱潮，但實(shí)用的計(jì)量測(cè)試儀表并未占有牢固的地位，直到進(jìn)入20世紀(jì)70年代，隨著1C (集成電路）技術(shù)的迅速發(fā)展才開始得到實(shí)際應(yīng)用。

   超聲波流量計(jì)如圖所示，由超聲波換能器、電子電路及流量顯示和積算系統(tǒng)組成。超聲波換能器將電能轉(zhuǎn)換為超聲波能量，將其發(fā)射并穿過被測(cè)流體，接收器接收到超聲波信號(hào)，經(jīng)電子電路放大并轉(zhuǎn)換為代表流量的電信號(hào)，供顯示積算儀顯示和積算。對(duì)于常用的超聲波流量計(jì)，它具有以下特點(diǎn)：

   1）由于測(cè)量管內(nèi)無測(cè)量元件，所以無壓力損失，用于大口徑管道的流量測(cè)量可降低能耗，解決了大管徑、大流量測(cè)量的困難問題，但不能用于管徑<DN25mm的管道。

   2）由于無可動(dòng)件與介質(zhì)流量接觸，超聲波流量計(jì)的流量測(cè)量精度幾乎不受被測(cè)介質(zhì)流體溫度、壓力、密度和黏度的影響。

   3）對(duì)測(cè)量介質(zhì)幾乎無要求，可以測(cè)量液體、氣體，對(duì)雙相介質(zhì)（污水、臟污水）流量（主要是應(yīng)用多普勒法）也可測(cè)量。外夾式超聲波流量計(jì)因?yàn)閮x表夾在管道外部，屬于非接觸測(cè)量，解決了其他流量計(jì)難以測(cè)量的放射性、非導(dǎo)電性、高壓、髙黏度、 強(qiáng)腐蝕性、易燃易爆介質(zhì)的測(cè)量問題。

   4）超聲波流量計(jì)測(cè)量范圍寬，一般可達(dá)20:1。

   5）儀表的維修、更換更方便，安裝、維護(hù)可以不影響生產(chǎn)。

   6）由于探頭、耦合材料的耐溫問題，超聲波流量計(jì)只能用于 200℃以下流體的測(cè)量。

   7）測(cè)量精度一般在±1%~ ±1.5%,由于測(cè)量線路比一般流量計(jì)復(fù)雜，一般情況下測(cè)量的液體流速在每秒數(shù)米以下，而液體中的聲速約1500m/s，流速帶給聲速的變化量至多不過是10^(-3)數(shù)量級(jí)，在工業(yè)計(jì)量中當(dāng)測(cè)量流速要求精度達(dá)到1%時(shí)，對(duì)聲速的測(cè)量精度要求為10^(-5)到10^(-6)，因此必須有完善的測(cè)量線路才能實(shí)現(xiàn)，所以對(duì)于中小管道測(cè)量，超聲波流量計(jì)的價(jià)格還是比較高的。